Роль фотохимических процессов при абляционной фотодекомпозиции полиимида

Предложена модель абляционной фотодекомпозиции полиимида, описывающая экспериментально наблюдаемое изменение кинетики абляции от логарифмической к линейной в зависимости от энергии лазерного импульса. Данный эффект объясняется возможностью увеличения эффективной глубины проникновения лазерного излучения в полимер за счет фотохимического разрушения хромофорных групп. Полученная зависимость глубины травления от энергии наносекундного лазерного импульса удовлетворительно описывает экспериментальные результаты.