Аннотация:
Реализована схема генерации УФ импульсов с длительностью 15 пс и выходной энергией до 1.5 мДж на основе системы, состоящей из пикосекундного Nd3+:YAG-лазера с каскадным нелинейно-оптическим преобразованием излучения основной частоты в излучение с длиной волны 193 нм и эксимерного ArF-усилителя. Измерены временные характеристики и контраст усиленного импульса.