RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 2016, том 46, номер 1, страницы 23–28 (Mi qe16308)

Эта публикация цитируется в 21 статьях

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Формирование мелкодисперсной жидкометаллической мишени под действием лазерных импульсов фемто- и пикосекундной длительности для лазерного плазменного источника в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне

А. Ю. Виноходовa, К. Н. Кошелевba, В. М. Кривцунba, М. С. Кривокорытовa, Ю. В. Сидельниковba, В. В. Медведевba, В. О. Компанецb, А. А. Мельниковb, С. В. Чекалинb

a ООО "ЭУФ Лабс", г. Троицк, г. Москва
b Институт спектроскопии РАН, г. Троицк

Аннотация: Представлены результаты исследования динамики деформации и фрагментации жидкометаллических капель под действием ультракороткого лазерного импульса. Эксперименты проводились с целью оптимизации формы капельной мишени, применяющейся в источниках излучения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) диапазона на основе лазерной плазмы при использовании технологии предварительного импульса. В качестве лазера, создающего предымпульс, использовалась система из задающего генератора на Ti : сапфире и регенеративного усилителя, позволяющего регулировать длительность импульса от 50 фс до 50 пс. Средняя по времени импульса и пространству плотность мощности лазерного излучения на капельной мишени достигала 3×1015 Вт/см2. Генерация жидкометаллических капель осуществлялась генератором капель на основе сопла с кольцевым пьезокерамическим актюатором. Материалом капель служил эвтектический сплав индий–олово. Генератор капель мог работать в капельном и струйном режимах с максимальной частотой стабильного режима работы 5 и 150 кГц соответственно. Достигнута пространственная стабильность положения капли σ=1%–2% от ее диаметра. Размер капель варьировался в диапазоне 30–70 мкм, их скорость в зависимости от режима работы составляла 2–8 м/с.

Ключевые слова: ЭУФ литография, источник ЭУФ излучения, лазерная плазма, предымпульс, фемтосекундный лазер, генератор капель, лазерная мишень, жидкометаллические капли, импульсно-периодический режим.

Поступила в редакцию: 29.05.2015
Исправленный вариант: 06.10.2015


 Англоязычная версия: Quantum Electronics, 2016, 46:1, 23–28

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024