Мощные газоразрядные эксимерные ArF-, KrCl-, KrF- и XeCl-лазеры на двухкомпонентных газовых смесях без буферного газа

Представлены результаты экспериментального исследования влияния состава газовой смеси (активной среды лазера) на энергию генерации и полный КПД эксимерных газоразрядных лазеров на молекулах ArF* (193 нм), KrCl* (222 нм), KrF* (248 нм) и XeCl* (308 нм), работающих без применения буферного газа. Найдены оптимальные (с точки зрения максимальной энергии излучения) соотношения газовых компонентов активной среды эксимерных лазеров, при которых достигается эффективная работа лазерного источника. Экспериментально подтверждено, что для газоразрядных эксимерных лазеров на галогенидах инертных газов присутствие в активной среде буферного газа не является необходимым условием эффективной работы лазерного источника. Впервые в двухкомпонентных газовых смесях импульсно-периодических газоразрядных эксимерных лазеров, работающих на электронных переходах эксимерных молекул ArF*, KrCl*, KrF*и XeCl* при накачке поперечным объемным электрическим разрядом газовой смеси пониженного давления без буферного газа, была достигнута энергия лазерного излучения в импульсе до 170 мДж и высокая (до 24 МВт) импульсная мощность лазерного излучения при длительности на полувысоте импульса KrF-лазера 7 нс. Максимальный полный КПД, полученный в эксперименте для исследуемых двухкомпонентных газовых смесей KrF- и XeCl-лазеров, достиг 0.8%.