Микрооптические гироскопы на основе пассивных кольцевых резонаторов

Дан обзор современного состояния разработок пассивных микрооптических гироскопов. В течение последнего десятилетия основные усилия в области создания микрооптических гироскопов были сконцентрированы на схеме, основанной на использовании пассивного кольцевого одномодового резонатора, который, как правило, изготавливался с использованием технологии интегральной оптики. Размеры таких микрооптических гироскопов сравнимы с размерами микромеханических гироскопов (площадь 10 – 100 мм²), а их предельная чувствительность значительно превышает чувствительность последних и приближается к чувствительности лазерных и волоконных гироскопов. Кроме того, микрооптические гироскопы, как и микромеханические, могут быть изготовлены в виде единой интегральной схемы с использованием стандартной технологии, но, в отличие от микромеханических, они не имеют подвижных частей. Приведены также результаты разработки и исследования микрооптических гироскопов, полученные авторами обзора.