Аннотация:
Разработан болометрический ИК детектор на основе подвешенной над отверстием в подложке пленки углеродных нанотрубок, полученных методом аэрозольного синтеза, а также гибридного материала, представляющего собой нанесенный на нанотрубки графен. В данном случае графен служил поглощающим материалом. Исследовано влияние количества нанесенного поглотителя на спектральную характеристику, вольтовую чувствительность, быстродействие и шумы болометра. Лучшее быстродействие наблюдалось у образцов чистых углеродных нанотрубок, тогда как гибридный образец с наибольшим количеством графена показал лучшую чувствительность к излучению. Кроме того, получены и проанализированы зависимости параметров болометра от давления окружающей среды и от температуры, на основе чего определены оптимальные условия работы устройства.