Лазерное структурирование алмазной поверхности в режиме наноабляции

Экспериментально исследована возможность применения процесса наноабляции (безграфитизационного фотоиндуцированного травления) для прецизионного микро- и наноструктурирования поверхности монокристалла алмаза. Обработка осуществлялась фемтосекундными импульсами третьей гармоники титан-сапфирового лазера (λ = 266 нм). Обсуждаются особенности формирования нанорельефа поверхности: регулярность формируемых структур и уменьшение скорости наноабляции вблизи уже сформированных кратеров. Продемонстрирована возможность создания алмазной фазовой дифракционной решетки с глубиной рельефа ~130 нм и проведено сравнение дифракционной картины (λ = 532 нм) с теоретическими расчетами.