Абляция гексагонального нитрида бора при облучении УФ лазерным излучением

Экспериментально исследованы особенности абляции керамики гексагонального нитрида бора при воздействии наносекундными лазерными импульсами с длинами волн излучения 193 и 248 нм. Получены зависимости скорости удаления материала и наклона стенки кратера от плотности энергии в пятне облучения. Обнаружен режим абляции, при котором скорость удаления материала достигает 5 мкм за импульс, что не характерно для наносекундного лазерного излучения. Показано, что при относительно низких интенсивностях излучения (около 5–10 Дж/см²) угол наклона стенки формируемого кратера не превышает 20°.