RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 2019, том 49, номер 6, страницы 545–551 (Mi qe17065)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Подборка работ, доложенных на Симпозиуме 'Полупроводниковые лазеры: физика и технология'

Электронные и оптические свойства гибридных гетероструктур GaN/por-Si(111)

П. В. Серединab, Д. Л. Голощаповa, Д. С. Золотухинa, А. С. Леньшинa, А. М. Мизеровc, И. Н. Арсентьевd, Г. Ляйстеe, М. Ринкеe

a Воронежский государственный университет
b Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б. Н. Ельцина, г. Екатеринбург
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет РАН, г. С.-Петербург
d Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, г. С.-Петербург
e Karlsruhe Nano Micro Facility, Germany

Аннотация: С использованием метода молекулярно-пучковой эпитаксии с плазменной активацией азота (МПЭ ПА) получены интегрированные гетероструктуры на основе самоупорядоченного массива наноколонн GaN на подложках из Si с достаточно однородным распределением диаметров, впоследствии коалесцировавших в 2D слой. Применение "податливой" подложки por-Si для синтеза GaN методом МПЭ ПА позволило получить свободный от трещин GaN-слой, предотвратить процесс травления Ga – Si, сохранить резкий гладкий интерфейс Si – GaN, а также частично подавить генерацию напряжений растяжения, возникающих при охлаждении гетероструктуры от температуры роста до комнатной путем ее релаксации на нанопористом интерфейсе Si – GaN, что позитивно отразилось на его оптических свойствах в УФ области.

Ключевые слова: нитрид галлия, наноколонны, молекулярно-пучковая эпитаксия, пористый кремний, оптические и электронные свойства.

Поступила в редакцию: 04.04.2019


 Англоязычная версия: Quantum Electronics, 2019, 49:6, 545–551

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024