Аннотация:
Теоретически и экспериментально исследована возможность достижения сверхразрешения на фазовом изображении микроступеньки в лазерном сканирующем дифференциальном гетеродинном микроскопе. Cверхразрешение оценивалось как отношение ширин амплитудной и фазовой составляющих отклика микроскопа, измеренных на полувысоте соответствующих частей отклика. Теоретически показана возможность достижения сверхразрешения, существенно превышающего единицу, для объекта в виде фазовой микроступеньки с вносимым фазовым сдвигом, равным π. Для аттестованных тестовых микрообъектов экспериментально получено сверхразрешение ~2. Показана возможность настройки в режим сверхразрешения для тестового образца путем сдвига точечного фотоприемника в фурье-плоскости микроскопа.