Аннотация:
Методы оценки параметров рельефно-фазовых дифракционных микроструктур (локального и интегрального Q-факторов) распространены на случай многослойных двухрельефных пилообразных микроструктур, что обеспечивает возможность выбора наилучших комбинаций оптических материалов для многослойных микроструктур при весьма незначительных затратах компьютерного времени. Предложен подход к исследованию многослойных микроструктур, основанный на совместном использовании Q-факторов и метода строгого анализа связанных волн, который позволил оценить предельные спектральные и угловые характеристики многослойных микроструктур различных типов.
Ключевые слова:дифракционный оптический элемент, многослойная рельефно-фазовая дифракционная микроструктура, дифракционная эффективность, скалярная и строгая теории дифракции.
Поступила в редакцию: 18.02.2020 Исправленный вариант: 19.03.2020