Методика измерения волнового фронта излучения с использованием трехволнового интерферометра сдвига

Проведен анализ и сделаны некоторые уточнения методики измерения распределения фазы излучения, основанной на использовании трехволнового интерферометра сдвига. Эта методика обладает высокой точностью, большим динамическим диапазоном, а также достаточно проста и удобна для применения в различных областях. Описаны прибор для реконструкции волнового фронта и алгоритм обработки данных. Приведены результаты расчетов модели измерителя волнового фронта и результаты экспериментальных измерений.