А. М. Чапланов, А. Н. Шибко, “Влияние поляризованного лазерного излучения на окисление пленок титана при термическом отжиге”, Квантовая электроника, 30:6 (2000), 532

Эта публикация цитируется в 1 статье

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Влияние поляризованного лазерного излучения на окисление пленок титана при термическом отжиге

А. М. Чапланов, А. Н. Шибко

Институт электроники НАН Белоруси, Минск

Аннотация: Исследовано влияние лазерного облучения пленок Ti, находящихся в нагретом состоянии, на изменение их фазового состава. Установлено, что облучение пленок титана пучком линейно поляризованных фотонов с hν = 1.96 эВ при отжиге в вакууме подавляет реакцию окисления.

PACS: 81.40.Ef, 68.55.Nq, 61.80.Ba

Поступила в редакцию: 14.01.1999