Разработка мощных KrF-лазеров с частотой повторения импульсов до 5 кГц

Экспериментально исследованы основные факторы, определяющие возможность увеличения частоты повторения импульсов в мощных KrF-лазерах. Рассмотрены два прототипа компактного промышленного KrF-лазера. Первый прототип позволяет получать максимальную среднюю мощность ~620 Вт при частоте повторения импульсов 4 кГц, во втором, более компактном, прототипе была достигнута максимальная частота повторения 5 кГц при средней мощности излучения 200 Вт.