Эволюция электронных свойств нанокластеров тантала и оксидов в окрестности фазового перехода в непроводящее состояние

Получены core-shell образцы тонких плёнок нанокластеров тантала и оксидов тантала на кремнии. По результатам рентгеновского фотоэлектронного спектроскопического анализа определён химический состав нанокластеров Ta/TaO₂. По характеру угловых зависимостей соотношений пиков дублета Ta4f и кислорода была установлена однородность состава тонкой нанокластерной плёнки. Для нанокластеров металлического тантала диаметром менее 5 нм наблюдался эффект размерного сдвига энергии связи и была установлена его зависимость от диаметра нанокластеров.