Технологические особенности селективного лазерного травления в процессах внутренней модификации оптического кварца

Разработана и успешно применена технология селективного лазерного травления (СЛТ) для прецизионной обработки кварцевого стекла толщиной до 2 мм. Технология продемонстрировала эффективность для двух операций: резка и прошивка отверстий. При этом были достигнуты следующие значения параметров: шероховатость R_a – 0.2 мкм и R_z – 0.4 мкм, отклонение от перпендикулярности 1° и ширина резки в диапазоне от 10 до 45 мкм. Выявлены технологические интервалы для энергии в импульсе, скорости и частоты, при которых возможна реализация выборочного травления. Максимальная скорость травления раствором плавиковой кислоты кварцевого стекла, модифицированного лазером, составила 225 мкм/ч, что свидетельствует о селективности около 47 по сравнению с селективностью исходного стекла.