Концепция широкополосного монохроматора по схеме Хеттрика – Андервуда для рентгеновского рефлектометра на область 6 – 27 нм

Спроектирована схема широкополосного VLS-монохроматора по схеме Хеттрика – Андервуда как части рефлектометра, ориентированного для работы с лазерно-плазменным источником мягкого рентгеновского излучения. Схема дополнена скрещенным зеркалом для увеличения пропускной способности монохроматора. Предполагается использование опорного измерительного канала для обеспечения абсолютных измерений коэффициентов отражения/пропускания и установка с этой целью делителя рентгеновского пучка, расположенного на выходе из монохроматора. Рассчитаны оптическая схема прибора, его параметры, параметры VLS-решетки, а также оптическая схема для изготовления VLS-решетки методом интерференционной литографии на длине волны 532 нм. Разрешающая способность, пропускная способность и точность литографической схемы проверены методом численной трассировки лучей.