А. Н. Жерихин, А. И. Худобенко, Р. Т. Вилльямс, Д. Вилкинсон, К. Б. Усер, Г. Хионг, В. В. Воронов, “Лазерное напыление пленок ZnO на кремниевые и сапфировые подложки”, Квантовая электроника, 33:11 (2003), 975

Эта публикация цитируется в 15 статьях

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Лазерное напыление пленок ZnO на кремниевые и сапфировые подложки

А. Н. Жерихин^a, А. И. Худобенко^a, Р. Т. Вилльямс^b, Д. Вилкинсон^b, К. Б. Усер^b, Г. Хионг^b, В. В. Воронов^c

^a Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, г. Троицк, Московская обл.
^b Department of Physics, Wake Forest University, USA
^c Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва

Аннотация: Исследовано лазерное напыление пленок оксида цинка. Для предотвращения попадания на пленку микрочастиц, возникающих при лазерной абляции мишени, использовался промежуточный экран. Изучено влияние условий напыления на морфологию пленки, ее электрические свойства и кристаллическую структуру. Показано, что методом лазерного напыления можно получать пленки с проводимостью обоих типов. Удельное сопротивление пленок составило 0.07 Ом·см для пленок с проводимостью n-типа и 0.08 Ом·см для пленок с проводимостью р-типа. Исследования фотолюминесценции пленок показали, что при интенсивности накачки свыше 6 МВт/см² в пленках генерируется вынужденное излучение.

PACS: 42.62.-b, 81.15.Fg

Поступила в редакцию: 07.01.2003
Исправленный вариант: 27.02.2003