Аннотация:
Разработана мощная лазерная KrF-система на основе широкоапертурного эксимерного лазера с электронно-пучковой накачкой и инжекционным управлением от электроразрядного задающего генератора. Спектральная яркость излучения с шириной линии ~0.1 см—1, перестраиваемой вблизи λ = 248 нм, составила ~5·1014 Вт/см2 ср см–1 при пиковой мощности ~1 ГВт.