Р. В. Волков, Д. М. Голишников, В. М. Гордиенко, А. Б. Савельев, В. С. Черныш, “Имплантация высокоэнергетичных ионов под действием фемтосекундного лазерного излучения”, Квантовая электроника, 35:1 (2005), 33

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Имплантация высокоэнергетичных ионов под действием фемтосекундного лазерного излучения

Р. В. Волков^a, Д. М. Голишников^a, В. М. Гордиенко^a, А. Б. Савельев^a, В. С. Черныш^b

^a Международный учебно-научный лазерный центр МГУ им. М. В. Ломоносова
^b Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова

Аннотация: Осуществлена имплантация ионов германия из разлетающейся плазмы в кремниевый коллектор. Плазма зажигалась на поверхности твердотельной мишени фемтосекундным лазерным импульсом с интенсивностью ~10¹⁵ Вт/см². Предложена методика определения энергетических характеристик ионной компоненты лазерной плазмы по профилю концентрации имплантированных в подложку атомов.

PACS: 52.77.Dq, 52.50.Jm, 42.65.Re

Поступила в редакцию: 06.07.2004