Л. Л. Балакирева, А. В. Виноградов, И. В. Кожевников, “Оптимизация высокоотражающих многослойных зеркал для диапазона 100–150 нм”, Квантовая электроника, 20:9 (1993), 933

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Оптимизация высокоотражающих многослойных зеркал для диапазона 100–150 нм

Л. Л. Балакирева, А. В. Виноградов, И. В. Кожевников

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН РФ, г. Москва

Аннотация: Проведена численная оптимизация толщин слоев высокоотражающих периодических и непериодических многослойных зеркал MgF₂/LiF, LiF/Al, MgF₂/Al для диапазона λ = 100–150 нм. Показано, что коэффициент отражения может достигать 99–99,9%.

УДК: 535.312

PACS: 42.79.Bh, 42.79.Wc, 42.60.Da

Поступила в редакцию: 02.03.1993