aФизический институт им. П. Н. Лебедева
АН СССР, Москва bФОМ-институт, Нидерланды cХарьковский политехнический институт им. В. И. Ленина dНаучно-исследовательский институт молекулярной электроники, Зеленоград
Аннотация:
Рассмотрено современное состояние рентгеновской литографии и рентгеновской оптики, принципы построения и схемы проекционных рентгенолитографических систем. Проанализированы основные направления исследований, ведущихся в этой области в лабораториях СССР, США, Японии и Великобритании. Указаны проблемы, возникающие при разработке многослойных рентгеновских зеркал нормального падения.