RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 1992, том 19, номер 2, страницы 114–127 (Mi qe3351)

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Обзор

Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников

И. А. Артюковa, Л. Л. Балакиреваa, Ф. Бийкеркb, А. В. Виноградовa, Н. Н. Зоревa, И. В. Кожевниковa, В. В. Кондратенкоc, О. Ф. Огурцовd, А. Г. Пономаренкоc, А. И. Федоренкоc

a Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва
b ФОМ-институт, Нидерланды
c Харьковский политехнический институт им. В. И. Ленина
d Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, Зеленоград

Аннотация: Рассмотрено современное состояние рентгеновской литографии и рентгеновской оптики, принципы построения и схемы проекционных рентгенолитографических систем. Проанализированы основные направления исследований, ведущихся в этой области в лабораториях СССР, США, Японии и Великобритании. Указаны проблемы, возникающие при разработке многослойных рентгеновских зеркал нормального падения.

УДК: 778.33:776

PACS: 41.50.+h, 42.82.Cr, 42.79.Bh

Поступила в редакцию: 20.06.1991


 Англоязычная версия: Soviet Journal of Quantum Electronics, 1992, 22:2, 99–110

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024