В. И. Конов, С. М. Пименов, A. М. Прохоров, А. А. Смолин, Н. И. Чаплиев, “Лазерно-индуцированное селективное осаждение алмазных пленок”, Квантовая электроника, 18:9 (1991), 1096

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Воздействие лазерного излучения на вещество

Лазерно-индуцированное селективное осаждение алмазных пленок

В. И. Конов, С. М. Пименов, A. М. Прохоров, А. А. Смолин, Н. И. Чаплиев

Институт общей физики АН СССР, Москва

Аннотация: Экспериментально реализованы два режима локализованного лазерным излучением химического осаждения алмазных пленок на кремниевые подложки.

УДК: 621.373.826:621.793

PACS: 81.15.Fg, 61.80.Ba

Поступила в редакцию: 26.04.1991