Химическое осаждение пленок нитрида бора из газовой фазы, стимулированное импульсами УФ излучения эксимерного KrF-лазера

Впервые реализован синтез пленок нитрида бора из газовой фазы под действием импульсов интенсивного УФ излучения KrF-лазера. Исследованы зависимости скорости осаждения от плотности лазерной энергии, температуры подложки и давления боразина. Определены оптимальные условия для достижения максимальных скоростей осаждения (около 0.1 нм за импульс). Методами спектроскопии комбинационного рассеяния света и электронной оже-спектроскопии установлено, что основным компонентом осаждаемых пленок является стехиометрический гексагональный нитрид бора. Обсуждаются возможности реализации лазерного осаждения пленок кубического нитрида бора.