Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова, Москва
Аннотация:
Исследован скользящий импульсно-периодический разряд, используемый в электроразрядных эксимерных лазерах. Показано, что в отличие от объемного разряда он сохраняет однородность при высокой частоте повторения импульсов без смены газа в области разряда.