И. А. Артюков, В. Е. Асадчиков, А. В. Виноградов, Ю. С. Касьянов, В. В. Кондратенко, Р. В. Серов, А. И. Федоренко, С. А. Юлин, “Зеркальный рентгеновский микроскоп для исследования объектов, освещаемых излучением лазерной плазмы”, Квантовая электроника, 22:9 (1995), 951

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Зеркальный рентгеновский микроскоп для исследования объектов, освещаемых излучением лазерной плазмы

И. А. Артюков^a, В. Е. Асадчиков^b, А. В. Виноградов^a, Ю. С. Касьянов^c, В. В. Кондратенко^d, Р. В. Серов^c, А. И. Федоренко^d, С. А. Юлин^d

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
^b Институт кристаллографии РАН, г. Москва
^c Институт общей физики РАН, г. Москва
^d Политехнический институт г. Харьков

Аннотация: На основе многослойных зеркал создана рентгенооптическая система для получения увеличенных изображений микрообъектов с разрешением ~0.2 мкм на длине волны 20 нм. Система состоит из лазерно-плазменного источника, конденсора рентгеновского излучения, объектива Шварцшильда с увеличением 20, набора фильтров и детектора. Качество использованной рентгеновской оптики и точность юстировки компонентов системы позволили достичь разрешения ~0.2 мкм при использовании полной апертуры объектива. Экспозиция получается за одну вспышку Nd-лазера на второй гармонике с энергией импульса ~0.5 Дж и длительностью ~1.5 нс.

PACS: 07.85.Yk, 41.50.+h, 52.25.Nr, 52.50.Jm

Поступила в редакцию: 31.01.1995