Аннотация:
Исследована возможность применения голографической интерферометрии при контроле качества криогенных мишеней для ЛТС. Показано, что применение разностной интерферометрии, когда интерферируют две волны, одна из которых несет информацию о теплой мишени, а другая – о криогенной, в сочетании с методами повышения чувствительности упрощает расчет интерферограмм и увеличивает точность измерения разнотолщинности криогенного слоя.