Использование разряда по поверхности диэлектрика для предыонизации в эксимерных лазерах

Найдены условия получения высокой однородности сильноточного разряда по поверхности плоского диэлектрика, являющегося мощным источником УФ излучения, создающего высокий уровень предварительной ионизации в основном разрядном объеме. Объемный разряд был получен при апертуре до 30 см² и межэлектродных расстояниях до 10 см. Экспериментально показано, что для достижения высокой эффективности лазера вводимая во вспомогательный разряд энергия должна иметь определенное оптимальное значение. В лазере достигнут уровень генерации 1 Дж при удельном энергосъеме 5,8 Дж/л. При уровне генерации 0,7 Дж полный КПД лазера составил 1,5 %.