К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, Д. Р. Илькаев, В. Е. Матюшков, Т. М. Махвиладзе, А. А. Шалапенок, “Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной системе с растровым осветителем келлеровского типа”, Квантовая электроника, 17:4 (1990), 512

Применения лазеров

Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной системе с растровым осветителем келлеровского типа

К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, Д. Р. Илькаев, В. Е. Матюшков, Т. М. Махвиладзе, А. А. Шалапенок

Физико-технологический институт АН СССР, Москва

Аннотация: Экспериментально и методами математического моделирования исследуется влияние степени когерентности на входе проекционной оптической системы на качество получаемого изображения. Показана возможность проекционной лазерной литографии в системе с несканинирующим растровым осветителем келлеровского типа и эксимерным лазером в качестве источника излучения.

УДК: 621.373.826.038.823

PACS: 42.55.Lt, 42.62.-b, 42.30.Va, 42.25.Kb

Поступила в редакцию: 20.04.1989