RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 1994, том 21, номер 1, страницы 78–80 (Mi qe6)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Измеритель шероховатости поверхности в диапазоне 1–25 нм по индикатрисе рассеянного света

С. А. Абросимов, М. В. Высогорец, А. А. Малютин, А. В. Ненашев, Р. В. Серов

Институт общей физики АН РФ, г. Москва

Аннотация: Описан прибор для определения шероховатости поверхностей, основанный на измерении индикатрисы рассеяния лазерного излучения. Возможности прибора продемонстрированы на основе измерений специальных тест-объектов шероховатости, зеркал алмазного точения и высококачественных полированных металлических поверхностей.

УДК: 535.36

PACS: 68.35.Dv

Поступила в редакцию: 09.04.1993


 Англоязычная версия: Quantum Electronics, 1994, 24:1, 75–77

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024