З. Э. Буачидзе, И. В. Василищева, В. Н. Морозов, В. А. Плетнев, А. С. Семенов, П. В. Шапкин, “Создание и исследование тонкопленочных волноводов на основе CdSxSe1–x”, Квантовая электроника, 9:11 (1982), 2329

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Краткие сообщения

Создание и исследование тонкопленочных волноводов на основе CdS_xSe_1–x

З. Э. Буачидзе, И. В. Василищева, В. Н. Морозов, В. А. Плетнев, А. С. Семенов, П. В. Шапкин

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва

Аннотация: Методом диффузии созданы и исследованы волноводы на основе твердых растворов CdS_xSe_1–x с потерями 9–13 дБ/см. Определен профиль показателя преломления этих волноводов. Фотохимическим травлением на поверхности волноводов записаны дифракционные решетки с разрешением 10³ лин/мм с глубиной гофра 40 нм.

УДК: 621.372.8.029.7

PACS: 42.80.Lt, 42.80.Fn

Поступила в редакцию: 25.06.1982