Формирование лазерного пучка при внутрирезонаторной обработке объектов

Изучены вопросы формирования обрабатывающего пучка в схеме лазерного проекционного микроскопа с зеркалом обратной связи. Установлено, что в резонаторе, образованном плоским зеркалом обратной связи и исследуемым объектом, формируется лазерный пучок, образующий в плоскости объекта распределение интенсивности в виде концентрических кольцевых зон; исследованы его временные и энергетические характеристики. Показано, что областью обработки в зависимости от распределения интенсивности могут служить одна или более центральных зон. Экспериментально продемонстрирована возможность плавной регулировки размеров зоны обработки. Достигнут размер обработки ~1 мкм, соответствующий дифракционно разрешаемому для используемой оптической системы.