Эволюция периодической структуры на поверхности полупроводника при лазерном воздействии

Теоретически исследована эволюция формы гофра, образующегося на поверхности германия и кремния при лазерном воздействии. Показано, что учет электродинамической нелинейности приводит к выходу из режима экспоненциального роста периодической структуры (ПС) и к ограничению глубины гофра на поверхности. С ростом энергии в лазерном импульсе и числа импульсов спектр ПС уширяется, а период, для которого глубина гофра максимальна, сдвигается по отношению к значению, соответствующему резонансу поверхностного плазмона. Форма ПС искажается за счет проявления структуры с периодом, вдвое меньшим исходного. Близость полученных в работе максимальных значений глубины гофра к экспериментально наблюдающимся позволяет сделать вывод об определяющей роли электродинамической нелинейности в формировании ПС при лазерном облучении германия и кремния.