П. Варга, Г. Вертоши, И. Дюлаи, Г. Киш, Н. Кроо, Ж. Сентирмай, Е. М. Соболева, А. Г. Соболев, С. И. Сагитов, А. В. Усков, “Спектры свечения структур металл–барьер–металл”, Квантовая электроника, 12:10 (1985), 2161

Краткие сообщения

Спектры свечения структур металл–барьер–металл

П. Варга, Г. Вертоши, И. Дюлаи, Г. Киш, Н. Кроо, Ж. Сентирмай, Е. М. Соболева, А. Г. Соболев, С. И. Сагитов, А. В. Усков

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва

Аннотация: Исследовалось влияние технологии изготовления диэлектрического барьера на спектр свечения МБМ-диода. Диэлектрический барьер изготавливался как электронно-лучевым распылением, так и ионной имплантацией. Показано, что различные технологические методы изготовления диэлектрического барьерного слоя влияют на электрофизические характеристики, но не на спектральные свойства туннельных МБМ-диодов. Это говорит о том, что плазменный механизм является главной причиной свечения МБМ-диода.

УДК: 621.373.826

PACS: 85.30.Kk, 85.30.De

Поступила в редакцию: 17.01.1985