Аннотация:
Рассмотрены возможности повышения средней мощности эксимерных лазеров на KrF и XeCl в импульсно-периодическом режиме без увеличения скорости прокачки газовой смеси в замкнутом контуре. Повышение однородности и устойчивости объемного разряда позволило достигнуть средней мощности ~40 Вт и осуществить работу лазера в течение многих часов.