Молекулярно-пучковая эпитаксия – перспективный метод получения интегрально-оптических устройств. I. Инжекционные лазеры (обзор)

Проведен обзор исследований по созданию лазерных двухсторонних гетероструктур (ДГС) с помощью метода молекулярно-пучковой эпитаксии (МПЭ). Сравниваются свойства инжекционных лазеров, полученных методами МПЭ и жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ), оцениваются достижения и перспективы применения метода МПЭ для изготовления такого рода приборов более высокого качества.