О методике получения высокоэффективных дифракционных решеток малого периода

Реализована методика получения высокоэффективных дифракционных решеток с асимметричным профилем штриха и периодом 0,4–1,2 мкм на площади 20 см². Решетки изготовлены с помощью ионного травления подложки через фоторезистивную маску, полученную голографическим методом. Показано, что дифракционная эффективность – 1-го порядка в режиме автоколлимации для таких решеток достигает 82,5 %.