Н. Н. Евтихиев, Ю. А. Снежко, В. П. Тычинский, Г. Р. Левинсон, В. П. Захаров, “Лазерный интерференционный профилограф”, Квантовая электроника, 4:1 (1977), 69

Лазерный интерференционный профилограф

Н. Н. Евтихиев, Ю. А. Снежко, В. П. Тычинский, Г. Р. Левинсон, В. П. Захаров

Московский институт радиотехники, электроники, автоматики

Аннотация: Сообщается о разработке лазерного интерферометра с пространственным разрешением 15–30 мкм для измерения волнистости и отклонения формы поверхности 11–14 класса чистоты. Приводятся профилограммы различных объектов. Дается анализ влияния дестабилизирующих факторов на точность измерений.

УДК: 621.378:534.676

PACS: 07.10.+i, 42.60.Kq, 07.60.Ly

Поступила в редакцию: 12.04.1976