Аннотация:
Проведен сравнительный анализ параметров электрооптических модуляторов света на эффектах Поккельса и Франца-Келдыша для оптических интегральных схем на основе арсенида галлия. Показано, что использование в оптических интегральных схемах модулятора на эффекте Франца-Келдыша дает значительное уменьшение размеров модулятора (более чем на порядок) и, как следствие, уменьшение управляющей мощности и увеличение ширины полосы частот модуляции. Проводилось экспериментальное исследование макроскопического аналога пленочного модулятора на эффекте Франца-Келдыша в высокоомном арсениде галлия. Достигнуты глубины модуляции 60-90% при величинах управляющих полей до $5\cdot10^4$ В/см и длине модулятора 150 мкм.