Кинетика термического разложения алкильных производных элементов III и V групп

Обобщены результаты кинетических исследований термического разложения алкильных производных элементов III и V групп Периодической системы, которые используются для получения полупроводниковых эпитаксиальных структур. Проанализированы пути их превращений в газовой фазе и на поверхности эпитаксиальных слоев, а также факторы, влияющие на направление распада. Показана возможность образования комплексов между элементоорганическими компонентами смеси в процессе их совместного пиролиза. Библиография - 128 ссылок.