Получение тонких пленок меди из паровой фазы летучих производных меди(I) и меди(II) CVD-методом

Рассмотрены основные химические аспекты получения тонких медных пленок из паров летучих производных одно- и двухвалентной меди, используемых в качестве исходных веществ в CVD-технологии. Обобщены и систематизированы данные о методах синтеза и свойствах различных типов таких веществ. Обсуждены предполагаемые механизмы разложения медьсодержащих соединений в условиях CVD-процесса. Оценены перспективы использования CVD-технологии для получения тонких пленок меди в интегральных схемах микроэлектронных устройств.
Библиография – 432 ссылки.