Электрохимия полупроводников

ОГЛАВЛЕНИЕ
I. Введение
II. Система полупроводник–электролит в состоянии равновесия
III. Кинетика электродных реакций
IV. Химическое травление
V. Применение электрохимических методов для обработки поверхности полупроводников при физико-химических исследованиях и в производстве полупроводниковых приборов