Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных

Рассматривается обратная задача контроля процесса напыления многослойных покрытий с использованием оптических измерений. Вводится новый нелокальный алгоритм обработки данных измерений. На основе симуляции процесса напыления сравниваются ошибки, возникающие в случае использования традиционного локального и предложенного нелокального алгоритмов. Рассматривается схема коррекции уровней остановки напыления слоёв оптических покрытий, позволяющая повысить точность контроля напыления. Показывается, что нелокальный алгоритм оказывается более эффективным как в случае напыления без коррекции уровня сигнала прерывания напыления, так и с коррекцией этого уровня.