Методика мультиэнергетической рентгенографии изделий микроэлектроники с неоднородной структурой

Анализ существующих систем неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники, их основных возможностей и характеристик свидетельствует о необходимости разработки метода мультиэнергетической рентгенографии, позволяющего расширить возможности цифровой рентгенографии на изделия микроэлектроники с неоднородной структурой. Разработанный метод позволяет получить минимальный набор цифровых рентгеновских изображений изделия микроэлектроники с неоднородной структурой за счет обоснованного выбора команд источнику рентгеновского излучения для запуска "рабочих" режимов экспозиции. Указанный набор изображений обеспечивает возможность проведения контроля дефектов изделия по результатам визуализации внутренней структуры всех его функциональных элементов с требуемым качеством.