Аннотация:
Спектроскопическими методами проведено исследование параметров плазмы СВЧ-разряда атмосферного давления в азоте в десятисантиметровом диапазоне при уровне мощности $\sim 1,5$квт. Обнаружено, что в пределах погрешности измерений возбужденные уровни атомов азота, колебательные состояния молекул, распределение молекул по вращательным уровням и степень ионизации находятся в равновесии с единой температурой. На основании каналовой модели разряда в сочетании с моделью плазменного коаксиала проведен расчет параметров плазмы в зависимости от поданной на разряд СВЧ-мощности. Расчетные и измеренные параметры разряда удовлетворительно согласуются. Принятая модель расчета указывает на существование минимально возможной температуры плазмы в выбранной конструкции плазматрона и объясняет наблюдаемую на опыте слабую зависимость температуры от уровня подводимой СВЧ-мощности.