Разработка кинетической модели плазмы СВЧ-разряда в режиме электронно-циклотронного резонанса с учетом временно́й эволюции функции распределения электронов

Разработана программа моделирования кинетики газового разряда с учетом временно́й эволюции функции распределения электронов по энергиям на примере СВЧ-разряда в режиме электронно-циклотронного резонанса в молекулярном дейтерии. Модель включает в себя усредненное нагревающее действие СВЧ-поля при циклотронном резонансе, упругие соударения электронов с электронами и тяжелыми компонентами разряда, а также неупругие реакции возбуждения и превращения. Программа учитывает временну́ю эволюцию функции распределения электронов под действием указанных процессов, для чего разработан алгоритм, изменяющий границы расчетного диапазона функции распределения в зависимости от ее текущих значений, что позволяет рассматривать ее изменения в широком энергетическом диапазоне. Выработаны условия, определяющие точность работы данного алгоритма, и приведена динамика погрешности счета при вариации параметров этих условий. Показана адекватность и достоверность получаемых в модели результатов, оцененная как по величинам вносимых погрешностей, так и при сравнении со сторонними моделями.