RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Теплофизика высоких температур // Архив

ТВТ, статья будет опубликована в одном из ближайших номеров (Mi tvt12102)

Особенности фемтосекундной лазерной абляции тонких пленок никеля

Е. В. Струлёваa, П. С. Комаровa, С. А. Евлашинb, С. И. Ашитковa

a Объединенный институт высоких температур РАН, г. Москва
b Сколковский институт науки и технологий, территория Инновационного Центра "Сколково"

Аннотация: Методом интерференционной микроскопии, сканирующей электронной и атомно-силовой микроскопии были исследованы особенности абляции нанопленок никеля различной толщины на стеклянных подложках после однократного воздействия лазерных импульсов длительностью $70$ фс с интенсивностью $10^{12}$$10^{13}$ Вт/см$^2$ на воздухе. В отличие от образца толщиной $30$ нм для образца толщиной $125$ нм в зависимости от энергии импульса реализовано не только полное, но и частичное удаление металлической пленки. Причиной этого может являться интерференция волн разряжения, отраженных от границ пленки, и локализация внутри нее растягивающих напряжений, приводящие к снижению абляционного порога. Определены значения порогов по поглощенной плотности энергии при разрыве внутри пленки и при ее отрыве от подложки. Для образца толщиной $125$ нм получена зависимость глубины кратеров от плотности энергии нагревающих импульсов в широком диапазоне значений.

УДК: 536.2.023; 539.893

Поступила в редакцию: 09.11.2024
Исправленный вариант: 04.03.2025
Принята в печать: 12.03.2025



© МИАН, 2025