Аннотация:
Показано противоречие между классической теорией катодного слоя тлеющего разряда, используемой для аргоновой плазмы, и измеренными значениями для потенциала катодного падения в случае разных материалов катода. Это противоречие может быть устранено, если предположить, что ионизационное равновесие в катодном слое носит ступенчатый характер. Представлена теория катодного слоя тлеющего разряда при ступенчатом механизме ионизации атомов электронным ударом и критерий ее реализации. Ступенчатый механизм ионизации в катодном слое ведет также к более эффективному способу образования вторичных электронов на катоде по сравнению с классическим случаем в результате тушения возбужденных атомов.