Измерение температуры газа в ВЧ-разряде низкого давления методом сканирующей калориметрии

Рассматривается нестационарный метод определения температуры газа в разряде по температурной кинетике массивного калориметра после зажигания разряда. Проведены измерения температуры газа в ВЧ-разрядах в $\mathrm{He}$, $\mathrm{Ar}$, $\mathrm{O}_2$, $\mathrm{N}_2$ и $\mathrm{CF}_4$ при разных уровнях вкладываемой мощности. Получены зависимости температуры газа в разрядах в $\mathrm{Ar}$, $\mathrm{N}_2$ и $\mathrm{O}_2$ от давления в диапазоне $10$–$100$ Па.