Кинетика заряженных частиц в катодном слое тлеющего разряда в гелий-неоновой смеси

Предложена теоретическая модель процессов переноса ионов и метастабильных атомов в катодном слое разряда в гелий-неоновой смеси. Показано, что ион-атомные взаимодействия оказывают малое влияние на состав бомбардирующего катод ионного потока.